题、每一次调整、每一组参数,都匿名化后,上传到“华夏EDA”开源社区。很快,国内各大高校、研究所、甚至其他芯片设计公司的工程师们,都参与了进来。有人提供算法优化建议,有人分析物理机理,有人分享类似问题的解决经验。
这不再是一家企业的攻关,而是一场全民参与的“光刻机大练兵”。SMEE的工程师们,根据一线反馈,快速迭代软件版本,优化机械结构。刘工团队,则根据设备特性,反向调整芯片设计和工艺配方。
这是一个痛苦的、螺旋上升的过程。前三个月,良品率一直在个位数徘徊。厂里堆满了报废的晶圆,像一座座小山。财务总监看着账本,心惊肉跳。但赵磊没有动摇,他一次次给团队打气:“每一片废片,都是铺路石。我们踩着它们,才能走向光明。”
奇迹,发生在第四个月。
那天凌晨,当新一批晶圆完成切割、封装、测试后,良品率数字定格在了47%。虽然离国际领先的90%以上还有差距,但这是一个质的飞跃!这意味着,国产28nm光刻机,已经具备了“可用”的基础!
消息传出,整个凯里厂沸腾了。老秦抱着刘工,两个五六十岁的老汉,像孩子一样又哭又笑。赵磊站在人群中,看着那台轰鸣的国产光刻机,眼中泪光闪烁。他知道,这47%的良品率,不是冷冰冰的数字,而是无数人心血的结晶,是中国芯片产业从“无”到“有”,从“不可用”到“可用”的伟大跨越。
他立刻将这个消息,通过加密信道,发给了全球各个“影子节点”。
南非地下机房,顾渊看着报告,缓缓点头:“设备稳了,心就稳了。”
阿巴斯港仓库,朴成焕听到消息,放下了手中的扳手,对着东方深深鞠了一躬。
德国汉斯的实验室,他默默地将深微最新发布的工艺设计套件(PDK),导入到EDA工具中。虽然他身处西方,但那一刻,他感觉自己和东方的同胞们,站在了一起。
赵磊没有沉浸在喜悦中太久。他深知,47%只是开始。H公司不会坐视中国光刻机成熟。他们一定会动用各种手段,从供应链、从技术、从市场,进行新一轮的打压。
果然,没过多久,H公司联合ASML(阿斯麦),放出风声:任何使用SMEE光刻机生产芯片的企业,都将被视为“安全风险”,H公司将不再提供任何技术支持,并可能面临专利诉讼。
这招“连坐”,旨在孤立刚刚起步的国产光刻机生态。
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