资源,通过不完全燃烧制取高纯一氧化碳和二氧化碳;利用沸点差异,对工业酸进行多达二十次的减压蒸馏;利用离子交换树脂(从废旧净水器中拆出来的),吸附重金属离子。
这个过程极其缓慢,效率极低。一天下来,提纯出的高纯试剂,还不够清洗一片晶圆。但朴成焕没有放弃。他亲自盯着每一道工序,像呵护婴儿一样,测试每一批试剂的纯度。当第一瓶达到半导体使用标准的***,从这简陋的装置里流出来时,这位在三星拿惯了顶级科研经费的老工程师,竟然像个孩子一样,抱着那瓶透明的液体,老泪纵横。
“阿米尔,看。”朴成焕把那瓶酸递给助手,指着瓶身上自己用记号笔写下的“Pure - Level 1”,“科学,不依赖设备。科学,依赖这里。”他指了指自己的脑袋,又指了指心脏。
靠着这套“土法炼钢”的体系,阿巴斯港的晶圆再生中心,居然真的运转起来了。虽然良品率只有可怜的15%,虽然每天只能处理几片晶圆,但这几片晶圆,却是深微全球“影子网络”里,最珍贵的火种。它们被用来制作“存算一体”芯片的衬底,送往南非的地下机房,供顾渊和顾晓雨进行物理验证。
与此同时,远在万里之外的上海,张江高科技园区内,气氛却截然不同。
上海微电子装备公司(SMEE)的厂房里,一台崭新的28nm光刻机,正在进行最后的调试。这是国产光刻机的一个里程碑,虽然比国际最先进的7nm、5nm落后几代,但它是中国完全自主设计的产物。
“赵总,您看,这就是咱们的‘争气机’!”SMEE的总经理老秦,指着那台庞大的机器,脸上既有自豪,也有难掩的焦虑,“光学系统、双工件台、控制系统,全是咱们自己搞的。但……良品率太不稳定了。跑一整天,能出两三片合格的,就算烧高香了。这成本,谁用得起啊?”
赵磊围着光刻机转了好几圈,没有去看那些复杂的仪表,而是蹲下来,用手摸了摸机器底座的减震垫,又看了看排风口的粉尘过滤棉。
“老秦,问题出在哪?”赵磊问。
“哪都出。”老秦苦笑,“光源功率波动、工件台定位误差、镜头热畸变……每一个环节都有微小偏差,累积起来,就导致成像模糊,良品率上不去。我们的工程师,眼睛都熬红了,就是找不到症结。”
赵磊站起身,看着窗外灰蒙蒙的天空,沉声道:“老秦,良品率不是‘测’出来的,是‘用’出来的。你们把机器锁在实验室里
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