正式的光刻机组装比起从显微镜魔改难度自然不一样。
主要难点并非说是最后的组装,更多的在于自主零件的适配与工艺的达标。
工业基础条件落后,所带来的工业品差距是体现在方方面面的。
特种零件强度标准,公差标准等等,其实一上手就能感觉到跟英方的显微镜设备中的零件有差距。
好在沈永健这般镜头配件的组装下来,倒是还算顺利。
第一代接触式光刻机,他设计之初也考虑到了材料生产的难题,尽可能减少精密零件的需求。
“对的…好…没问题!”
“水平,垂直,基准面…都对上了!”
卓邵文在一旁替他把着精确度的标准,声音中带着一丝不易察觉的激动。
“邵文,帮我递一下光学镜头组和那个苏制的投影透镜也拿一下。”
沈永健指向自己旁边几个用绒布小心包裹的部件,不由地再次嘱咐道。
“小心,镜面绝不能沾灰或指纹。”
卓邵文依言,动作极其轻柔地拆开包装,配合着沈永健的动作,小心翼翼地将镜头与组件配装到一起。
这台正式的第一代光刻机,核心零配件皆来源自产,不过部分零件依旧选用从苏方进口的,例如那投影透镜。
国内倒不是没有能制造的工厂和实验室,只是效能上还是苏方的生产配件更佳。
反正眼下双方关系不错,这类相关的零配件,对方也挺大方,自然是先用更好的零件。
约莫四个小时后,天色渐暗。
厂里除了收制车间有夜班工人外,大都已经下班,外头也再无任何杂音,显得有些寂寥。
好在大家心头都是火热,沈永健这边工作已进入尾声。
“沈工,操作台,光源系统和遮光板都装好了,您看看位置?”
见沈永健动作终于停下,刘师傅的声音便已从身后响起。
他负责的是工作量最大且要求严苛的机械部分。
笨重的高压汞灯光源,复杂的冷却管路以及控制光路的精密遮光板机构。
沈永健起身前去,身前这个“大家伙”已然有了光刻机的雏形。
随着他将电镜模组与各光学镜头模组安装完毕,观察投射在模拟硅片上的光斑形状和均匀度,再反复调整遮光板和聚光镜的位置。
“…再左移一点…好,停!就是这个位置,固定死!”
在
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