庐州，星源科技总部。
洁净室入口的空气锁在发出低沉的「嘶啦」声，待气压平衡後，厚重的玻璃门缓缓向两侧滑开。
所有人都换上了全套无尘服，陈延森第一个跨进去，身後跟着梁劲松、林南、汪象朝，以及两名高级光学工程师。
一进主工艺间，整片区域便被昏黄的灯光所笼罩，这是EUV光刻机专用的黄光环境，避免常规白光对光刻胶造成非预期曝光。
大厅正中，三台破晓A3XEUV光刻机一字排开。
它的机身比上一代A220更高、更长，主体采用深灰与哑光黑的撞色设计，表面几乎看不到外露的管线与接头。
机器顶部的环形散热带微微发亮，内部的冷却液正在持续循环，从而带走光源工作时产生的巨大热量。
陈延森在三米外站定，望着机身表面印刷的两个字，不由地怔怔出神。
三年前，全球九成以上光刻机的外壳上都印着「ASML」的品牌名，如今则全都换成了「破晓」。
这份从追赶至超越的滋味，恐怕只有深耕半导体行业的人，才能真正体会到。
这几年，星源科技的工程师拿着高额出差补贴，奔赴欧美各地，为破晓光刻机安装调试、提供售後，也算亲身体验了一把当年欧美工程师的待遇。
甭管设备出什麽问题，厂家都得开出高价、包往返机票与住宿，才能享受到合同约定的检修服务。
敢私自拆机？
合同立刻终止！
哪怕设备只移动一米，都必须提前报备，否则系统会直接远程锁机。
在光刻机领域，星源科技但凡轻咳一声，全球所有晶圆厂都得跟着震一震。
「老板，这就是一号机。」
梁劲松上前半步，指着面前的设备说道：「上周五完成了最後一次全系统自检，各子系统均绿灯通过，目前已累计运行时长超120小时，无任何故障提示。」
陈延森微微点头，目光落在设备底座的减震平台上。
底座采用特制花岗岩与碳纤维复合结构，平台边缘镶嵌着一圈细密的雷射干涉仪，可实时监测整机姿态，精度达到亚纳米级。
再往上，是锡等离子体光源腔。
腔体外壁密布着高压氙气放电管与辅助磁约束线圈，透过观察窗，仍能看见内部残留的一圈圈幽蓝辉光。
「光源的Collector镜组，有没有出现镀膜剥落？」
…。。